O Laboratório

O Laboratório de Filmes Finos (LFF) atua nas área de micro e nanoestruturas em filmes finos e superfícies desde 1994, com significativa produção científica e tecnológica. Além de formar recursos humanos em pesquisa e desenvolvimento (conheça nossa equipe) , o laboratório ainda contribui com o setor industrial prestando serviços de microscopia e medições de molhabilidade para caracterização de materiais e investigação de falhas.
Apesar de todos os desafios de um laboratório de médio porte, o LFF acompanha algumas das áreas mais interessantes em pauta no universo científico atual (nanociência, propriedades elétricas, mecânicas e morfológicas de filmes finos, superfícies superhidrofóbias e superfícies funcionalizadas com aplicação na área biotecnológica). Contamos também com o apoio de colaboradores de extrema competência em nossos projetos e em projetos próximos de nossa área de atuação. O laboratório cresce com sucesso fazendo pesquisa de qualidade em física aplicada.

Além dos principais equipamentos descritos separadamente neste site (MEV, SPM, CVD, Microscópio Óptico e MePIIID), temos também outros equipamentos de infra-estrutura básica. Eles são necessários na preparação de amostras para a deposição de filmes finos e também para muitos dos processos de microfabricação, como micro e nanolitografia, corrosão anisotrópica de silício e outros tipos de corrosões químicas. Nossos principais equipamentos são mostrados abaixo.

Infra-estrutura

Principais equipamentos

• Microscópio de Força Atômica e Tunelamento e Família (Força Elétrica, Kelvin, Força Magnética, Força lateral, Nanolitografia, Nanoendentação, Eletroquímico) (Nanoscope IIIa Digital Instruments) Mais informações
  
  
• Microscópio Eletrônico de Varredura (Jeol 6460LV), Microanálise EDS (Thermo Noran) e Nanolitografia por Feixe de Elétrons (NPGS) Mais informações
  
  
• Microscópio Óptico BX51 (Olympus) Mais informações
  
  
• Sistema de Medição de ângulo de Contato, Tensão de Superfície e Interfacial e de Energia Livre de Superfície (KSV CAM200) Mais informações
  
  
• Elipsômetro (modelo Rudolph) Mais informações
  
  
• MePIIID - Metal Plasma Immersion Ion Implantation & Deposition (Home-made) Mais informações
  
  
• CVD - Chemical Vapour Deposition (Home-made) Mais informações
  
  
• Fotoalinhadora/expositora de baixo custo (Home-made, em construção)
  
  

Mais equipamentos

O laboratório ainda possui mais equipamentos para preparação de amostras e protótipos:

• deionizador de água (18,2 MOhm.cm)
• 2 cabines de fluxo laminar vertical
• 2 capelas de exaustão
• 2 banhos de ultrasônicos
• 3 placas quentes
• banho termostático com controle de temperatura
• politriz
• prato giratório para deposição de filmes poliméricos (spinner)
• aparato para tratamento com luz UV
• estufa de esterilização
• 2 lupas ópticas
• cortadeira com disco diamantado
• forno (até 800ºC)
• metalizadora (preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura)
• evaporadora de carbono (preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura)

Processamento de imagens e simulações

• Tridyn (Dynamic TRIM) - Simulação dinâmica de interações entre íons e matéria
• SPIP - Processamento de imagens geradas por Microscópio de Força Atômica e Tunelamento (medidas em x,y e z, rugosidade, estatística de grãos, deconvolução da imagem da ponta)
• Image Pro - Processamento de microscopias ópticas e imagens de MEV (medidas x,y, perfil de contraste de cor, estatística de grãos)

LFF 2012. Nossas pesquisas têm apoio FAPESP e CNPq. Todos os direitos reservados.